
參考價格
面議型號
HCVD-060609-C品牌
頂立科技產地
湖南長沙樣本
暫無非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
真空溫控精度:
±5~±10最高溫度:
1500額定溫度:
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臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳氫氣體(天然氣、丙烷、丙烯)為碳源的預制體氣相滲透增密處理

電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
采用智能壓力調控,壓力波動小;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;
可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

| 參數\型號 | HCVD-060609-C | HCVD-101015-C | HCVD-121220-C | HCVD-151530-C | HCVD-152023-C | HCVD-252035-C |
| 工作區尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 1500×2000×2300 | 2500×2000×3500 |
| **溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性(℃) | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬
熱電偶:K/N/C/S分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
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