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材料:氧化鋁
氧化鋁廣泛應(yīng)用于陶瓷領(lǐng)域，是一種耐磨材料。氧化鋁可以抵抗極端的溫度，它曾經(jīng)被用來生產(chǎn)像文丘里管這樣的部件和其他高溫部件。因為它是一種惰性材料，所以它既是良好的熱導(dǎo)體，又是良好的電絕緣體。
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等離子刻蝕技術(shù)是在涂膠的晶圓上高效地復(fù)制掩膜圖形，通過化學(xué)和物理過程選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料的一個重要工藝過程，是現(xiàn)代集成電路制造領(lǐng)域不可缺少的工藝步驟?？涛g機，來源：中微半導(dǎo)體隨著集成電路
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