非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
≤±4℃最高溫度：
1600℃額定溫度：
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產品介紹
高端氮化硅粉體燒結爐具有H2安全保護、防竄氣技術 、多段溫度曲線設定，多種氣體流量自動精準控制（無需人工調節）、脈沖式充氣、氣體循環控溫、發熱體衰減檢測、發熱體漏電監測、全面故障自診斷功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產。
產品參數
| 裝料空間（W*H*L） | 500*500*1800 |
| **溫度 | 1600℃ |
| **工作壓力 | 0.9bar |
| 極限真空度 | 0.5pa |
| 真空泄漏率 | ≤5×10-3 mbarl/s |
| 真空泵組 | 旋片泵+羅茨泵 |
| 升溫速率 (滿載、≥1500℃） | ≥8℃/min |
| 溫度均勻性 | ≤±4℃ |
| 具備功能 | 真空燒結、靜態燒結、氣氛燒結、急速冷卻 |
| 工藝氣體種類 | H2 N2 Ar |
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