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URE-2000/35 型紫外單面光刻機
1．技術特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動化程度高）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除曝光間隙，采用 350W 進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程度很高，操作十分方便。
2．技術參數
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長：365nm
。分辨力：0.8μm
。對準精度：±0. 8μm
。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 ±10mm-- ±100mm(各種不規則片) 厚度 0.1mm--5mm(可擴展為 15mm)
。曝光方式：定時和定劑量18
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 3%（±100mm 范圍）
。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
。調平接觸壓力通過傳感器保證重復
。數字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
掩模相對于樣片運動行程：
X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6o
。焦厚：400μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面溫度<35 o
。單層曝光一鍵完成
。采用球氣浮自動找平
。汞燈功率：350W（直流，進口汞燈）
3．外形尺寸：1200mm（長)x900mm(寬) x1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350W 進口直流高壓汞燈(進口)
。XYZ 汞燈調節臺
。冷卻風扇
。光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺19
。轉動臺
。樣片調平機構，自動完成
。基片抽拉式上下機構
。樣片調焦機構，電機自動調
。承片臺 4 個：?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用戶要求增減）
。掩模夾 4 個：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）
（3）對準顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、 電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 對準系統，21 寸液晶顯示器
（4）電控系統
。汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統
。控制柜桌
（5）氣動系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
（6）其他附件
。真空泵一臺
。空壓機一臺
。管道
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