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技術(shù)優(yōu)勢:
兩支獨(dú)立可調(diào)電磁聚焦離子槍
同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù))
超寬加速電壓范圍:100eV 到10kV,不同加速電壓下,離子束束斑均保持理想束斑狀態(tài)
每支離子槍均配備對(duì)應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測
采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng),人機(jī)界面友好,操作簡潔
減薄角度范圍:-15°到+10°連續(xù)可調(diào)
樣品載臺(tái)X-Y 可調(diào),可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置
具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄減薄過程功能
樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺,離子束自動(dòng)避讓樣品夾
可選液氮冷臺(tái)配置,去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷
可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置,隔絕樣品與水氧接觸
暫無數(shù)據(jù)!
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