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CIF勻膠機(jī)
CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。
u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，*多100個(gè)階段。
u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，*限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u 多重安全保護(hù)
電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開(kāi)傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤(pán)，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時(shí)間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸（LxWxH）mm |
SC1 | 50-10000 | ±1％ | 0-2000S | 圓片Φ5-Φ100，方片100x100 | 310x260x250 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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