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2. 控溫精度：≤0.3℃
3. 升溫時(shí)間：≤30min
4. 定時(shí)范圍：0-99h99min
5. 溫度均勻性：≤0.5℃
6. **氣體流量：15L/min
7. 加熱功率：200W
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