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技術(shù)規(guī)格：
1. 面電阻量測(cè)范圍： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)
2. 樣品尺寸：支持10mm至300mm wafer
3. 量測(cè)系統(tǒng)包括：Jandel RM3000測(cè)試單元
4. 測(cè)試精度：0.05% at 23℃
5. 溫度可變范圍：-100℃ ~ 200℃
6. 軟件操作簡(jiǎn)單可以支持with Windows XP， Windows 7 或Windows 8操作系統(tǒng)，USB2.0 或USB3.0接口
7. 可選擇量測(cè)晶圓上1， 5， 9， 25， 49， or 121個(gè)測(cè)試點(diǎn)或者自定義量測(cè)圖
8. 可繪制2D和3D數(shù)據(jù)結(jié)果圖
9. 輸出電阻，電阻率和厚度等量測(cè)結(jié)果
10. 系統(tǒng)支持JANDEL探測(cè)頭，插入式更換，操作簡(jiǎn)單
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