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管式爐設(shè)計(jì)用于材料沉積之用,廣泛適用高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米
氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。
產(chǎn)品特點(diǎn):
LGO加熱元件提供了高效的熱傳導(dǎo)作用,保證爐內(nèi)溫度的均 勻性和快速升降溫。
耐用節(jié)能型加熱元件,無需維護(hù)。
獨(dú)特的爐腔設(shè)計(jì)可以有效降低爐外表面溫度。
熱反射元件形成高效中空保溫層。
緊湊型爐體外表面涂有耐熱涂層。
翻轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)易于安裝工作管。
耐用型PlatinelRII熱電偶帶有10英尺長的導(dǎo)線和插頭。
工作管直徑:25.4-76.2mm(不同型號(hào)不同)。
加熱長度:609.6mm(不同型號(hào)不同)。
數(shù)字型多段單程序三區(qū)溫度控制器:三區(qū)或單區(qū)可設(shè)定單個(gè)程序;微處理控制為基礎(chǔ)、帶自
我調(diào)節(jié)功能的PID控制器保證溫度處理,防止過熱;LED顯示屏同時(shí)顯示設(shè)定和實(shí)際溫度;溫控精確度:±0.3%。
溫度范圍:100-1200℃。
可選備供氣系統(tǒng),可以同時(shí)通入H2、N2、NH3、CH4和C2H2五種氣體,五路氣均帶有316氣體調(diào)壓器(選件)。
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