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規(guī)格&應(yīng)用:
-半自動(dòng)探針臺(tái)&全測(cè)量.
-12英寸低噪音卡盤,陶瓷Pa.
-X,Y轉(zhuǎn)臺(tái)行程300 x 300mm, 分辨率5um.
-Z轉(zhuǎn)臺(tái):上/下移動(dòng)距離 15mm.
-CCD攝像機(jī):全高清210M像素.
-定位器:微型定位器主體單元PB100,真空底座分辨率1um,行程13mm.
-選項(xiàng):暗箱;振動(dòng)臺(tái);熱夾頭;Seebeck效應(yīng)加熱探頭 等........
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