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此款小型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡單方便,是配合SEM 制樣必備的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,在 20Pa 真空保護。同時,配有專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。
主要特點:
2顯示操作面為60°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺體驗,方便觀察操作;
2真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;
2微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,帶有刻度標(biāo)識;
2真空泵抽速快,噪音低,適合實驗室使用;
2控制電路為控制板,工作穩(wěn)定可靠;
2顯示控制操作部分布局合理,位于同側(cè),使用方便;
2結(jié)構(gòu)簡單可靠,布局合理,維修操作空間大;
技術(shù)參數(shù):
1.玻璃處理室:Φ108mm,高度135mm;
2.試樣臺尺寸:Φ40mm,可同時放6個樣品杯;
3.金靶尺寸:Φ57mm;
4.真空系統(tǒng):靜音直聯(lián)旋片真空泵2L/S;
5.真空檢測:定制皮氏計,配合真空指針表,靈敏可靠;
6.真空保護:20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空;
7.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣節(jié);
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