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VHR光譜儀專為需要高精度快速分析的科研人員設計開發。雙入口雙出口，雙光柵塔輪，探測范圍從遠紫外延伸到近紅外。VHR光譜儀一體化機身設計消除由外界溫度變化引起的應力和膨脹帶來的波長漂移和信號損失，保證**光學光譜性能。
光柵驅動速度高達300nm/s，大大縮短實驗時間，提高工作效率。VHR系列光譜儀使用靈活，配備單通道探測器作為單色儀，配備CCD作為攝譜儀。
技術特點
一臺光譜儀實現真空紫外至近紅外全覆蓋
C-T式經典光路設計，低像差
配備高刻線密度光柵實現高分辨率
高速光柵馬達驅動
雙入射雙出射
一體化設計，優異的熱穩定性
典型應用
熒光
光致發光
等離子體物理研究
技術指標
型號 | VHR 640 | VHR 1000 | |
| 焦距 | 640 mm | 1000 mm | |
| 入射孔徑(單光柵模式) | f/5.4 | f/9.0 | |
| 光柵尺寸 | 單光柵模式 | 110 mm x 110 mm | |
| 雙光柵模式 | 80 mm x 110 mm | ||
| 掃描范圍 | 0 – 1500 nm | ||
| 光譜范圍 | 100nm – 15μm (取決于選擇的光柵) | ||
| 掃描速度 | > 300 nm/s | ||
| 光譜色散 | 1.2 nm/mm | 0.8 nm/mm | |
| 光譜分辨率 (10um狹縫) | 0.016 nm | 0.010 nm | |
| 波長位置精度 | ± 0.03 nm | ||
| 波長可重復性 | ± 0.015 nm | ||
| 入射接口 | 測微狹縫 | 0 – 2 mm | |
| 出射接口 | 測微狹縫或CCD | 雙出射狹縫，或25mm平像場可選，搭配轉折鏡使用 | |
| 真空度 | 優于10-5mbar | ||
| 法蘭 | DN25KF狹縫接口 | ||
| DN63LF，VHR機身真空泵接口 | |||
| DN25KF，VHR機身真空計接口 | |||
| DN100LF，CCD法蘭 | |||
| PC接口 | RS232 – USB | ||
| 尺寸 | 長 | 740 mm | 1160 mm |
| 寬 | 350 mm | 430 mm | |
| 高 | 350 mm | 350 mm | |
| 質量 | 65 kg | 70 kg | |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現光源和單色儀之間的光學匹配
后鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現單色儀和樣品室之間的光學匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機，*低至4K
真空泵
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