

參考價(jià)格
100-150萬元型號(hào)
CM-005品牌
超邁光電產(chǎn)地
四川成都樣本
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●本設(shè)備在成都光學(xué)鍍膜機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)達(dá)基礎(chǔ)上,在核心部件、控制系統(tǒng)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上吸收國(guó)際一流產(chǎn)品技術(shù)精髓,開發(fā)出surpass系列產(chǎn)品。本設(shè)備適用于高精密光通訊產(chǎn)品鍍制光學(xué)膜: 電學(xué)膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠(樹脂)件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜,能夠根據(jù)客戶需求定制。
●形式:φ650-3500mm,箱式一體機(jī),立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,一體機(jī)系統(tǒng)。
●真空系統(tǒng):極限真空8X10-5Pa,主泵為復(fù)合分子泵低溫泵擴(kuò)散泵可選。
●真空測(cè)量:配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì),均采用安全防爆金屬測(cè)量規(guī)。
●工件架系統(tǒng):客戶需求定制,轉(zhuǎn)速3~30rpm變頻可調(diào),工件盤為球形和行星工件盤可選。
●烘烤系統(tǒng):不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。
●電子束蒸發(fā)源:E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(E型)1-2套,主體有屏蔽罩,配置獨(dú)立高壓控制柜。
●旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源:電動(dòng)轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)位,配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。
●電阻蒸發(fā)源:2套電阻蒸發(fā)源。(選配)
●膜厚測(cè)試系統(tǒng):配瑞士inficon石英膜厚在線測(cè)量系統(tǒng), RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探頭。
●離子源輔助沉積系統(tǒng):一套(選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng))。
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