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單晶爐是軟軸提拉型晶體生長(zhǎng)設(shè)備,在低于常壓的惰性氣體環(huán)境中,以石墨電阻加熱器加熱,將填充在石英坩堝內(nèi)的多晶硅材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)的高質(zhì)量單晶設(shè)備。目前可生產(chǎn) CZ160 型及以上單晶爐設(shè)備。
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