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1、結(jié)構(gòu)致密均勻，采用微孔陶瓷材料結(jié)構(gòu)致密均勻，不易吸附硅粉磨屑，吸盤(pán)易于清洗；
2、強(qiáng)度高 ，在磨削時(shí)無(wú)形變，保證硅片在磨削時(shí)各點(diǎn)受力均勻，不易產(chǎn)生崩邊、碎片等現(xiàn)象；
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