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面議型號
一體化氣體分配系統(tǒng)品牌
中科艾爾產(chǎn)地
北京樣本
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產(chǎn)品介紹
MGDS氣體輸送系統(tǒng)為一體化氣體分配系統(tǒng)技術(shù)提供了一種方法,利用平面密封技術(shù),在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)。每個表面安裝組件遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),可根據(jù)需求形成不同的配置形式。維護(hù)時,僅需在面板上方進(jìn)行操作,簡單方便。
MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單項閥、底座及零部件。
主要部件材料
MGDS底座系列 316L /316L(VIM+VAR)
MHD系列 316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy
MCV系列 316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy+FFKM
工作條件
工作壓力 0 ~ 150psi
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 -10 ~ 60℃
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
產(chǎn)品特點
利用平面密封技術(shù),在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù)!
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