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拉晶過程全程自動化
在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,
用直拉法生長無位錯單晶的設備。
性能優勢
大直徑設計結構:匹配大直徑單晶硅棒生長所需空間。
可采用連續加料裝置。
采用超低碳不銹鋼材料,結構穩定。
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