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氦氣壓縮機概述
氦氣壓縮機是低溫真空泵、低溫制冷機或其他制冷單元的驅動單元,用于向低溫真空泵、低溫制冷機或其他制冷單元提供高純度氦氣。
應用領域 :
氦氣壓縮機可以驅動不同尺寸的低溫真空泵。
"主要應用于半導體前道制程設備的蒸發、濺射和離子注入的真空系統,同時在天文、航天、醫療等領域也有廣泛的應用。
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