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GENE系列-工業(yè)飛秒激光器品牌
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? 產(chǎn)品特點(diǎn):
智能識(shí)別和實(shí)時(shí)控制脈沖穩(wěn)定性
開機(jī)自動(dòng)優(yōu)化脈寬,冷啟動(dòng)速度快
智能反饋控制,長期功率穩(wěn)定性好
脈寬窄時(shí)域質(zhì)量高,滿足低HAZ加工要求
一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),光束指向穩(wěn)定性高
脈沖控制模式靈活,支持多種觸發(fā)工作模式
工業(yè)化設(shè)計(jì),保障7x24小時(shí)連續(xù)工作
? 應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體晶圓隱切
鈣鈦礦電池劃線
光波導(dǎo)加工
光柵刻寫
金屬、玻璃、高分子材料加工與表面處理
GENE-DW-1030/515是一款針對(duì)高效率工業(yè)場景研發(fā)的智能穩(wěn)定飛秒激光器,智能算法加持可實(shí)現(xiàn)快速冷啟動(dòng),脈沖參數(shù)智能識(shí)別和自動(dòng)優(yōu)化以及功率能量脈寬的長期穩(wěn)定。激光器輸出脈寬窄,光束質(zhì)量和脈沖時(shí)域質(zhì)量高,精密加工時(shí)熱影響區(qū)小。一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊可靠,光束指向穩(wěn)定性高,支持Trig、Gate、Burst、POD、PSO等多種觸發(fā)工作模式,可保障工業(yè)用戶7x24小時(shí)連續(xù)穩(wěn)定工作。 此款雙波長飛秒激光器集成1030nm和515nm兩種波長輸出可選,脈沖寬度小于350fs,1030nm單脈沖能量大于20μJ@1MHz,515nm單脈沖能量大于10uJ@1MHz,長期功率穩(wěn)定性優(yōu)于0.5% RMS。該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓隱切,鈣鈦礦電池劃線,光波導(dǎo)加工,光柵刻寫,金屬、玻璃、高分子材料加工與表面處理等領(lǐng)域。
產(chǎn)品數(shù)據(jù)
| 型號(hào) | GENE-515-350-10 | GENE-1030-350-20 | GENE-1030/515-350-20 | |
| 輸出特性 | ||||
| 中心波長 | 515nm | 1030nm | 1030/515nm | |
| **平均輸出功率 | 10W | 20W | 20/10W | |
| *小脈寬 | 350fs | 350fs | 350fs | |
| 脈寬調(diào)諧(可選配) | 400~5000fs | 400~5000fs | 400~5000fs | |
| **單脈沖能量 | 10uJ | 20uJ | 20/10uJ | |
| 重復(fù)頻率 | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | |
| 脈沖選擇 | 單脈沖,按需脈沖,任意基礎(chǔ)頻率整除 | |||
| 偏振 | 垂直 | 水平 | 水平/垂直 | |
| 光束質(zhì)量, M2 | M2≤1.3 | M2≤1.3 | M2≤1.3 | |
| 光斑直徑 | 3 ±1 mm, 1/e2 | 3 ±1 mm, 1/e2 | 3 ±1 mm, 1/e2 | |
| 光斑發(fā)散角 | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | |
| 光斑圓度 | ≥85% | ≥85% | ≥85% | |
| 光束指向穩(wěn)定性 | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | |
| 脈沖寬度穩(wěn)定性 | <1% RMS @*小脈寬 | <1% RMS @*小脈寬 | <1% RMS @*小脈寬 | |
| 功率穩(wěn)定性(24小時(shí)) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <0.5% RMS | |
| 長期功率穩(wěn)定性 (100小時(shí)) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <1% RMS | |
| 脈沖能量穩(wěn)定性 (24小時(shí)) | <1% RMS | <1% RMS | <1% RMS | |
| 配置選項(xiàng) | ||||
| 倍頻模塊 | 有 | 無 | 有 | |
| 電控激光快門Shutter | 標(biāo)配 | 標(biāo)配 | 標(biāo)配 | |
| Burst脈沖串模式 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 輸出脈沖選擇器 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 指引光 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 外形尺寸 | ||||
| 激光器頭 (長×寬×高) | 63x39x20cm | 63x39x20cm | 63x39x20cm | |
| 水冷機(jī) (長×寬×高) | 58x29x9cm | 58x29x9cm | 58x29x9cm | |
| 電源箱 (長×寬×高) | 48x37x9cm | 48x37x9cm | 48x37x9cm | |
| 環(huán)境和使用要求 | ||||
| 工作環(huán)境 | 20~30℃ | 20~30℃ | 20~30℃ | |
| 相對(duì)濕度 | <80%(非冷凝) | <80%(非冷凝) | <80%(非冷凝) | |
| 電源箱 | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | |
| 水冷機(jī) | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | |
| 電源箱 | 750W | 750W | 750W | |
| 水冷機(jī) | 1240W | 1240W | 1240W | |
暫無數(shù)據(jù)!
產(chǎn)品質(zhì)量
售后服務(wù)
易用性
性價(jià)比
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