收灰方式：
濾筒進(jìn)風(fēng)方式：
真空泵抽排放濃度：
阻力損耗：
脫硫率：
風(fēng)量：
使用溫度：
≤60℃除塵效率：
工作原理：
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本過濾器專為硼擴(kuò)散工藝（如半導(dǎo)體制造、光伏電池生產(chǎn)）設(shè)計，用于高效捕集尾氣中的氧化硼（B?O?）、硅粉、氣溶膠等超細(xì)粉塵（粒徑≤10μm），有效防止工藝設(shè)備堵塞、保護(hù)真空泵并避免環(huán)境污染。
典型安裝位置：在硼擴(kuò)散反應(yīng)系統(tǒng)中，建議按以下氣流方向配置：爐管 → 冷卻石英瓶 → 本過濾器 → 隔膜真空泵 → 酸排管。
高效過濾：采用優(yōu)質(zhì)濾材，對超細(xì)粉塵及氣溶膠的過濾效率 ≥90%。多級過濾設(shè)計，有效降低終端負(fù)荷。
設(shè)備保護(hù)：顯著減少粉塵及腐蝕性氣體進(jìn)入真空泵，延長泵體壽命，維持系統(tǒng)真空度穩(wěn)定，降低非計劃停機(jī)。
經(jīng)濟(jì)高效：延長保養(yǎng)周期，減少濾芯更換與設(shè)備維修頻次，綜合運行成本低。
安全環(huán)保：有效防止有害硼粉塵外泄，改善工作環(huán)境，助力符合環(huán)保法規(guī)。
便捷維護(hù)：模塊化設(shè)計，安裝與維護(hù)簡便，支持定制化尺寸與流量。
N型TOPCon電池硼擴(kuò)散
PERC電池背面硼擴(kuò)散
IBC電池硼摻雜
過濾器通過內(nèi)部濾芯的精密物理結(jié)構(gòu)，攔截并吸附氣流中的固體顆粒及氣溶膠污染物。過濾精度與效率取決于濾芯的材質(zhì)與孔徑。
高效過濾：采用優(yōu)質(zhì)濾材，對超細(xì)粉塵及氣溶膠的過濾效率 ≥90%。多級過濾設(shè)計，有效降低終端負(fù)荷。
設(shè)備保護(hù)：顯著減少粉塵及腐蝕性氣體進(jìn)入真空泵，延長泵體壽命，維持系統(tǒng)真空度穩(wěn)定，降低非計劃停機(jī)。
經(jīng)濟(jì)高效：延長保養(yǎng)周期，減少濾芯更換與設(shè)備維修頻次，綜合運行成本低。
安全環(huán)保：有效防止有害硼粉塵外泄，改善工作環(huán)境，助力符合環(huán)保法規(guī)。
便捷維護(hù)：模塊化設(shè)計，安裝與維護(hù)簡便，支持定制化尺寸與流量。
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