
參考價格
500萬以上型號
Apreo ChemiSEM品牌
賽默飛世爾科技產地
捷克樣本
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Thermo Scientific? Apreo ChemiSEM? 場發射電 鏡是高性能與高質量成像的不二之選。它集成了 元素成分與結構分析于一體的自動工作流程,讓不同經驗的用戶都能輕松獲得高質量數據。
Apreo ChemiSEM為大型研究機構和工業客戶提供適用于各種樣品 與不同經驗水平用戶的完全集成的分析技術與完整的分析結果。 對于有多個使用用戶和多種樣品類型的多功能實驗室來說,該系統的全新智能幀積分 (SFI)、自動對焦和自動消像散功能可自動優化圖像采集參數并采集數據,無需手動調節。該系統始終保持ZUI優狀態,可隨時進行成像,讓用戶有更多時間專注于獲取所需的數據。
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采用 ChemiPhase 對鋼材中的復合夾雜物進行相分析。ChemiPhase 可有效鑒定各種夾雜物,獲取各種夾雜物的成分和面積分數,還能輕松探測出意想不到的相,通過一次分析即可提取完整的信息。
主要特點
高分辨率成像性能:Thermo Scientific? Trinity? 探測檢測系統及自動化 技術可簡化各種應用中的數據采集工作
先進的優化分析解決方案:TrueSightPro EDS探檢測器、ChemiSEM技術和 TruePix EBSD 探檢測器可對樣品進行完整全面表征
綜合工作流程:兼容MAPS 軟件、自定義腳本和 CleanConnect?, 兼 容性讓用戶可您能夠全面完全控制分析流程
Apreo ChemiSEM 系統集成了三項有助于簡化操作并確保結果可靠性的先進功能:Thermo Scientic ? ChemiSEM ? 技術、新型TruePix 背散射電子衍射儀 (EBSD) 以及獨特的 Thermo Scientic ?Trinity ? 鏡筒內探測系統。

ChemiSEM 技術利用全自動實時定量算法呈現僅通過成像無法注 意到的特征,為樣品提供更完整的信息。該功能隨時運行且易于 使用,可更快提供結果,有助于消除用戶偏差。
TruePix EBSD 探測器與 Apreo ChemiSEM 系統配合使用,可擴大 應用范圍。全新的 EBSD 軟件可用于控制該探測器,引導用戶完 成參數設置、數據采集以及數據處理。
Trinity 鏡筒內探測系統可實現高質量的形貌、極表面和成分信息 的同步采集,而無需使用 ETD 或 BSD 探測器。
其具有獨特的信號過濾選項,1 kV 電壓下不加電子束減速即可得到 0.9 nm 的ZUI高分辨率。
Apreo ChemiSEM 系統將高分辨率成像、元素分析和結構分析相 結合,為用戶提供分析各類型材料的強大工具。
? 高分辨率場發射 SEM 鏡筒具有以下特點:
– 高穩定肖特基場發射槍,提供穩定的高分辨分析束流
– 復合末級透鏡,組合靜電透鏡、無漏磁透鏡和浸沒式磁透鏡(選配)
– 60° 物鏡幾何結構,允許較大樣品傾斜
– 自加熱光闌確保清潔度,無接觸式光闌切換
? SmartAlign 技術:無需用戶對中
? 低真空模式(選配)下通過透鏡差分抽真空減小裙散效應, 實現準確分析和ZUI高分辨率成像
? 電子束減速功能,樣品臺偏壓范圍為 -4,000 V 至 +600 V
? 束流連續變化,孔徑角ZUI優化
? 雙樣品臺掃描偏轉
? 電子槍安裝和維護簡單:自動烘烤、自動啟動、無需機械對準
? PivotBeam 模式,用于選區電子通道襯度成像,也稱為“搖 擺電子束”模式(僅限于 Apreo ChemiSEM S 型)
? ZUI短燈絲壽命:36 個月
? TrueSight;探測器尺寸:25 或 70 mm2
? 能量分辨率高達 125 eV @ Mn Κα?
? 元素探測范圍為 Be-Am
? 輕元素靈敏度可探測至硅 (Si Lα)
? 基于項目的數據存儲
? 項目數據樹,方便輕松管理數據
? 行業標準數據格式
? 專用分析模式,實現點、線和面掃描模式之間的無縫融合
? 在 xT SEM 用戶界面中選擇可用的電子圖像類型
? 一鍵生成報告
? 和峰和逃逸峰去除
? 自動譜峰識別
? 合成峰與背底疊加
? 在大范圍工作距離、束流和電子束能量范圍內進行準確定量
? 用戶可定義選擇包含、排除或定量缺失某元素
? 自動或用戶自定義選擇 KLM 線系進行定量分析
? 通過數字濾波法去除背底
? 通過ZUI小二乘濾波法擬合進行無標樣定量分析
? 使用 PROZA 基體校正法,實現優異的輕元素定量
? 定性和定量線掃描,可按時長或計數停止測試
? ChemiSEM 技術,結合電子圖像算法實現快速面定量
? 定量面掃描始終開啟,提供譜峰剝離的定量面掃描
? 計數面掃描,支持單元素線系選擇
? 過 square kernelization 進行定量面掃描(選配)
? 將多個面掃描圖像疊加到電子圖像上
? 用戶自定義或自動選擇元素顏色
? 通過導航蒙太奇采集和拼接多個視場
? 兼容 MAPS 軟件,實現多視場的自動拼接
? 使用點和矩形框進行譜圖提取
? 通過靈活選擇線方向、寬度和點數,從 X 射線面掃描圖像中提 取線掃描數據
? 多譜圖歸一化對比
? 基于 DCFI 進行面掃描的漂移校正
? 采用化學計量法對硼化物、碳化物、氧化物和氮化物進行化合 物分析
? ChemiPhase 通過多元統計分析法進行實時或離線相鑒定
? ChemiView 實現不同數據類型的離線再處理和報告生成
? 混合像素化直接電子 EBSD 探測器
? 單一探測器,由單個基于 Timepix 的模塊組成
? 零讀取噪聲、高信號背底比
? 零畸變
? 單顆粒計數
? 能量閾值化
? 2000 FPS 幀讀取率
? 一分鐘內完成探測器插入、校準、花樣優化和面掃描自動設置
? 全面集成在線采集和離線數據處理系統
? 自動花樣優化:系統從待采集區域隨機點采集 >20 個EBSP,實現優質的背底校準
? ZUI大曝光量測定:系統確定信號飽和前的ZUI大曝光量,當曝光時間超過ZUI大曝光量進行自動幀積分
? 自動平場校正和襯度增強(另外提供校準程序)
? 針對不同探測器位置、工作距離和樣品傾斜角度自動進行花 樣中心校準
? 可疊加任意類型的圖像
? 晶粒尺寸直方圖
? 噪聲去除和像素增強
? 用戶自定義模板化報告
? 標定所有的七類晶系和 11 種勞厄群
? 多相同時標定
? 快速傅里葉變換和花樣襯度質量指標
? 低 SEM 放大倍率花樣中心校正
? EBSP 的ZUI佳擬合運動學模擬與疊加
? 歐拉圖、X/Y/Z 反極圖(軋向、法向、橫向)、歐拉取向圖、 相圖和取向差面掃描
? 完全無油的真空系統
? 1 × 240 l/s 渦輪分子泵
? 1 × PVP 渦旋泵
? 2 × IGP
? 樣品倉真空度(高真空)<6.3×10-6 mbar(泵工作 12 小時后)
? 抽真空時間:≤ 3.5 分鐘
? 低真空模式(腔室壓力為 10-500 Pa)(選配)
? 限壓光闌 (PLA) 自動加載裝置
? 標準多功能樣品座,可直接安裝在樣品臺上,可容納多達18 個標準樣品托(直徑為 12 mm)、三個預傾斜樣品托、 截面樣品托和兩個預傾斜 STEM 樣載條(選配)(38 ° 和 90°);安裝樣品無需使用工具
? 每個選配 STEM 載條可容納六個 STEM 載網
? 晶圓及定制樣品臺(選配)
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Apreo ChemiSEM 支持多種工業應用,包括對大和重的材料進行表征的應用。無需切割樣品或減小樣品的尺寸,簡化了制備過程。
? 64 位 GUI,配備 Windows 10 系統、鍵盤、光學鼠標
? 24 英寸液晶顯示屏,WUXGA 1920 × 1200(可選裝第二臺顯示器)
? 可自定義用戶界面
? 自動聚焦、自動消像散和自動透鏡對中功能
? 智能幀積分(自動設置采集參數)
? 圖像配準
? 導航蒙太奇
? 撤消與恢復功能
? 操縱桿(選配)
? 旋鈕板手動用戶界面(選配)
? 駐留時間范圍為 25 ns - 25 ms/ 像素
? 高達 6144 × 4096 像素
? 文件類型:TIFF(8 位、16 位、24 位)、JPEG 或 BMP
? 單幀或 4 視圖圖像顯示
? SmartScan (智能掃描)模式(256 幀平均或積分、線積分 和平均、隔行掃描)
? DCFI(漂移補償幀積分)模式
? 數字圖像增強和降噪濾波器
(詳細數據請參閱預安裝指南)
? 電源:
– 電壓為 100 - 240 V AC (-6%、+10%)
– 頻率為 50/60 Hz (±1%)
– 功耗: <3.0 kVA(電鏡基礎系統)
? 接地電阻 <0.1 0
? 環境:
– 溫度為 20 ° C (±3 ° C)
– 相對濕度低于 80%
– 雜散 AC 磁場:線時間 20 ms(50 Hz 電源)或 17 ms(60 Hz 電源)時,<40 nT(異步)或 <100 nT(同步)
? ZUI小門尺寸:0.9 m 寬 × 1.9 m 高
? 重量:980 kg(系統控制臺)
? 建議使用干燥氮氣進行抽真空
? 壓縮空氣,4-6 bar,清潔、干燥且無油
? 系統冷卻裝置
? 噪聲:需現場勘察
? 地面震動:需現場勘察
? 可選主動減震裝置
產品參數

BD:電子束減速模式,WD:工作距離(除非另有說明,否則按ZUI佳工作距離提供分辨率)。默認情況下,ZUI終安裝后系統驗收測試條件為:高真空 1 kV 和 30 kV 條件 ,開 啟浸沒模式(如適用)。
電子束參數范圍:1 pA 至 50 nA(可選配 400 nA )
? 加速電壓范圍:200 V - 30 kV
? 著陸能量范圍:20 eV - 30 keV
? ZUI大水平視場寬度:10 mm WD 時為 3 mm(ZUI小放大倍率: 29x )
? 內寬:340 mm
? 分析工作距離:10 mm
? 端口:12
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通過電子束減速 (BD) 對氧化鎂顆粒進行低 kV 表征 (500 V)。BD 可改進形貌細節并 減少荷電效應。
Apreo ChemiSEM 可任意組合不同探測器或探測器的分區(選配), 可同時探測多達四種信號:
? Trinity 探測系統(物鏡內和鏡筒內)
– T1 分割式物鏡內低位探測器
– T2 物鏡內中位探測器
– T3 鏡筒內高位檢測器(選配)
? TD:Everhart-Thornley 二次電子探測器
? DBS:可伸縮分區式極靴下 背散射電子探測器(選配)
? 低真空二次電子探測器(選配)
? DBS-GAD:安裝在物鏡上的氣氛分析背散射電子探測器(選配)
? STEM 3+ 可伸縮分區式探測器 (BF、DF、HADF、HAADF)(選配)
? 紅外 CCD
? hermo Scientifc? Nav-Cam? 導航相機(樣品倉內)
高分辨率成像性能:Thermo Scientific? Trinity? 探測檢測系統及自動化 技術可簡化各種應用中的數據采集工作
先進的優化分析解決方案:TrueSightPro EDS探檢測器、ChemiSEM技術和 TruePix EBSD 探檢測器可對樣品進行完整全面表征
綜合工作流程:兼容MAPS 軟件、自定義腳本和 CleanConnect?, 兼 容性讓用戶可您能夠全面完全控制分析流程
Apreo ChemiSEM 系統集成了三項有助于簡化操作并確保結果可靠性的先進功能:Thermo Scientic ? ChemiSEM ? 技術、新型TruePix 背散射電子衍射儀 (EBSD) 以及獨特的 Thermo Scientic ?Trinity ? 鏡筒內探測系統。
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Apreo ChemiSEM場發射掃描電鏡有現貨嗎?
Apreo ChemiSEM場發射掃描電鏡包安裝嗎?