收灰方式：
集塵桶/集塵車/集塵袋進風方式：
負壓排放濃度：
10阻力損耗：
100脫硫率：
20風量：
1000使用溫度：
-60-80除塵效率：
99%工作原理：
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半導體真空吸塵系統CVP系列粉塵處理設備
治理目標
粉塵捕集率：針對重點產塵工位（如晶圓切割、研磨、鍵合），粉塵捕集率達到98%以上，減少粉塵擴散至生產環境。
過濾精度：系統出口粉塵濃度低于0.1mg/m3，滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB 16297-1996）及半導體行業潔凈度要求。
設備保護：降低粉塵對真空機組、管道的磨損和堵塞，延長設備使用壽命，減少運維成本30%以上。
安全合規：消除粉塵積累引發的火災、爆炸風險（部分半導體粉塵屬可燃粉塵），確保系統符合OSHA（美國職業安全與健康管理局）及國內半導體行業安全規范。
分級過濾系統升級
構建“三級過濾+離線清灰”系統，具體配置如下：
一級粗濾：旋風分離器
安裝在管道入口處，利用離心力分離5μm以上的粗顆粒粉塵（如硅粉、碳化硅粉），分離效率≥90%；底部配備錐形集塵斗，采用氣動卸灰閥，避免卸灰時負壓損失。
二級精濾：HEPA濾芯
選用H13級HEPA濾芯（過濾精度0.3μm，效率≥99.97%），截留中細顆粒粉塵；濾芯采用褶式結構，增大過濾面積（單支面積≥5m2），延長使用壽命（建議更換周期2個月）。
三級高效濾：ULPA濾芯
采用U15級ULPA濾芯（過濾精度0.1μm，效率≥99.9995%），確保出口粉塵濃度達標；濾芯設置壓差傳感器，當阻力超過1500Pa時自動報警，提示更換。
同時，在過濾箱內設置脈沖噴吹清灰系統（壓縮空氣壓力0.6MPa，噴吹頻率30秒/次），實現離線清灰，避免清灰時粉塵二次進入系統；過濾箱外殼采用不銹鋼材質，密封等級達到IP65，防止粉塵外漏。
半導體真空吸塵系統CVP系列粉塵處理設備
構建“三級過濾+離線清灰”系統
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2025-10-27
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