中國粉體網(wǎng)訊 2025年11月20—21日,由中國粉體網(wǎng)主辦的第九屆全國石英大會暨展覽會在江蘇徐州盛大召開。會議聚焦高純石英砂、石英制品、硅微粉等核心議題,吸引了全產(chǎn)業(yè)鏈同仁齊聚。會議期間,中國粉體網(wǎng)特別邀請到錦州佑鑫石英科技有限公司研發(fā)中心主任馬力,做客對話欄目,就半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)熱點(diǎn)話題接受獨(dú)家專訪。

中國粉體網(wǎng):您的報(bào)告主題提到半導(dǎo)體石英坩堝發(fā)展趨勢,那您能否談?wù)勎磥?-5年,半導(dǎo)體石英坩堝的核心迭代方向?背后驅(qū)動因素是什么?
馬主任:半導(dǎo)體石英坩堝未來3-5年核心迭代方向是大尺寸、更長壽命、更高純度、及更優(yōu)的熱穩(wěn)定性能。背后驅(qū)動因素是硅片尺寸的迭代8英寸已向12英寸主流化,18英寸已進(jìn)入研發(fā)階段;另外半導(dǎo)體芯片制程不斷進(jìn)步,要求單晶硅的純度越來越高。
中國粉體網(wǎng):國際頭部企業(yè)在半導(dǎo)體石英坩堝領(lǐng)域的技術(shù)布局,對國內(nèi)企業(yè)形成了哪些競爭壓力?國產(chǎn)替代目前處于什么階段?
馬主任:國際頭部企業(yè)擁有更高的核心技術(shù),同時擁有穩(wěn)定高端客戶群體,國內(nèi)企業(yè)在市場上開拓難度較大。目前國產(chǎn)替代處于加速推進(jìn)階段,在中低端半導(dǎo)體石英坩堝應(yīng)用領(lǐng)域已部分實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代,在高端半導(dǎo)體坩堝應(yīng)用領(lǐng)域目前還很難實(shí)現(xiàn)。
中國粉體網(wǎng):高純石英砂的品質(zhì)是如何影響石英坩堝在拉晶過程中的性能與壽命的?
馬主任:雜質(zhì)元素在高溫過程中會影響石英坩堝的耐高溫性能和析晶溫度,導(dǎo)致石英坩堝使用壽命短,同時會伴隨雜質(zhì)進(jìn)入硅溶液導(dǎo)致拉晶中斷或影響單晶指標(biāo)。
中國粉體網(wǎng):半導(dǎo)體石英坩堝對石英砂的核心要求體現(xiàn)在哪些指標(biāo)上?具體有什么要求?
馬主任:半導(dǎo)體石英坩堝對石英砂的核心要求體現(xiàn)在純度、包裹體及穩(wěn)定性上。純度大于4N8以上(除各項(xiàng)金屬元素指標(biāo)外,硼元素要小于0.01ppm);包裹體少且最大直徑不超過5μm.
中國粉體網(wǎng):高純石英砂的供應(yīng)穩(wěn)定性一直是行業(yè)關(guān)注焦點(diǎn),您如何看待當(dāng)前國內(nèi)高純石英砂的自主化進(jìn)展?對下游坩堝企業(yè)的生產(chǎn)布局有哪些影響?
馬主任:國內(nèi)在高純石英砂自主化方面取得了顯著進(jìn)展,隨著研發(fā)的不斷投入在提純工藝上掌握了關(guān)鍵核心技術(shù),打破了國外的技術(shù)壟斷;另外從礦源勘探到加工,形成了完整的產(chǎn)業(yè)鏈,提高了產(chǎn)能,滿足了市場供應(yīng);但在高純產(chǎn)品穩(wěn)定性一致性方面,還需要繼續(xù)優(yōu)化。對于石英坩堝企業(yè)來說,加強(qiáng)了與高純石英企業(yè)緊密合作,一定程度上減少了對進(jìn)口砂的依賴。
中國粉體網(wǎng):隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)升級,石英坩堝與石英砂的市場將呈現(xiàn)怎樣的發(fā)展趨勢?
馬主任:石英坩堝品質(zhì)要求越來越高,大尺寸、低雜質(zhì)、高強(qiáng)度、長壽命發(fā)展方向。石英砂高純化需求加劇,將會進(jìn)一步推動合成石英的技術(shù)開發(fā)。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)
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