中國粉體網訊 日前，廣東省2025年度省重點領域研發計劃項目立項名單正式公布，其中 廣東國研新材料有限公司承擔（簡稱：國研新材）的“12英寸先進制程用高均勻性氮化鋁陶瓷加熱盤研制與應用”項目獲得立項，獲1000萬元省級財政資金支持。
在半導體制造核心零部件領域，國研新材的氮化鋁陶瓷加熱盤項目實現重大技術突破。該項目針對大尺寸晶圓先進制程需求，研發高均勻性、高穩定性加熱盤產品，其核心材料氮化鋁具有優異的導熱性與等離子體抗性，熱膨脹系數與硅片高度匹配，可滿足7nm-14nm先進制程對溫度控制的嚴苛要求。
在半導體制造中，需要對晶圓進行各種工藝處理，例如薄膜沉積、刻蝕等。在這些環節中，需要將晶圓加熱到一定溫度，并且對溫度有著嚴格的要求，因為溫度的均勻性對產品良率有著非常重要的影響，加熱部件必不可少。除了確保晶圓溫度的穩定性和均勻性，加熱器還要面臨可怕的真空、等離子體及化學氣體共存的工作環境，于是，陶瓷加熱器成為了必選項。
陶瓷加熱器的陶瓷基體的材質可使用氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化鋁(Al2O3)等陶瓷，其中，氮化鋁陶瓷是陶瓷加熱器的最優選擇。氮化鋁不僅具有高導熱性，能夠在短時間內實現快速升溫和降溫，還具有良好的電絕緣性和機械強度，確保了加熱器的穩定性和可靠性。此外，氮化鋁的熱膨脹系數與硅相近，這有助于減少熱應力對晶圓的影響，提高工藝良率。
當前，我國大尺寸半導體生產線正加速擴張，而高端陶瓷加熱盤長期依賴進口。國研新材的研發成果實現了該類產品的國產化替代，其模塊化設計與主流爐管設備兼容，可適配PVD、CVD等多道工藝，使用壽命超20000次循環，將有效降低國內半導體企業的設備采購與運維成本，為我國芯片制造產業鏈自主可控提供重要保障。
國研新材成立于2007年，是國內主要生產金屬陶瓷發熱體(MCH)研發、生產、銷售的高新科技企業。所生產的產品廣泛應用于智能馬桶、即熱式飲水機、暖風器、美發器等領域，同時，該公司正加緊研發可用于智能汽車、新能源汽車的發熱體產品。
來源：河源晚報、河源市高新技術企業協會
（中國粉體網編輯整理/空青）
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