
國儀量子技術(合肥)股份有限公司
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SEM4000Pro是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計,束流**可達200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢。標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器,可觀察導電性弱或不導電樣品。標配的光學導航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。

01配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發射電子槍
02分辨率高,30 kV 下優于 0.9 nm 的極限分辨率
03三級磁透鏡設計,束流可調范圍大,**支持 200 nA 的分析束流
04無漏磁物鏡設計,可直接觀察磁性樣品
05標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06標配的光學導航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松
應用案例

產品參數
關鍵參數 高真空分辨率 0.9 nm @ 30 kV,SE 低真空分辨率 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa 加速電壓 200 V ~ 30 kV 放大倍率 1 ~ 1,000,000 x 電子槍類型 肖特基熱場發射電子槍 樣品室 真空系統 全自動控制 低真空模式 **180 Pa 攝像頭 雙攝像頭 (光學導航+樣品倉內監控) 行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm T: -10°~+70°,R: 360° 探測器和擴展 標配 旁側二次電子探測器(ETD) 低真空二次電子探測器(LVD) 插入式背散射電子探測器(BSED) 選配 能譜儀(EDS) 背散射衍射(EBSD) 插入式掃描透射探測器(STEM) 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 軟件 語言 中文 操作系統 Windows 導航 光學導航、手勢快捷導航 自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散
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