Thermo Scientific? Apreo ChemiSEM? 場(chǎng)發(fā)射電 鏡是高性能與高質(zhì)量成像的不二之選。它集成了 元素成分與結(jié)構(gòu)分析于一體的自動(dòng)工作流程，讓不同經(jīng)驗(yàn)的用戶都能輕松獲得高質(zhì)量數(shù)據(jù)。

     Apreo ChemiSEM為大型研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)客戶提供適用于各種樣品 與不同經(jīng)驗(yàn)水平用戶的完全集成的分析技術(shù)與完整的分析結(jié)果。 對(duì)于有多個(gè)使用用戶和多種樣品類型的多功能實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō)，該系統(tǒng)的全新智能幀積分 (SFI)、自動(dòng)對(duì)焦和自動(dòng)消像散功能可自動(dòng)優(yōu)化圖像采集參數(shù)并采集數(shù)據(jù)，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)。該系統(tǒng)始終保持ZUI優(yōu)狀態(tài)，可隨時(shí)進(jìn)行成像，讓用戶有更多時(shí)間專注于獲取所需的數(shù)據(jù)。

     采用 ChemiPhase 對(duì)鋼材中的復(fù)合夾雜物進(jìn)行相分析。ChemiPhase 可有效鑒定各種夾雜物，獲取各種夾雜物的成分和面積分?jǐn)?shù)，還能輕松探測(cè)出意想不到的相，通過(guò)一次分析即可提取完整的信息。

主要特點(diǎn)

高分辨率成像性能：Thermo Scientific?  Trinity?  探測(cè)檢測(cè)系統(tǒng)及自動(dòng)化 技術(shù)可簡(jiǎn)化各種應(yīng)用中的數(shù)據(jù)采集工作

先進(jìn)的優(yōu)化分析解決方案：TrueSightPro  EDS探檢測(cè)器、ChemiSEM技術(shù)和 TruePix EBSD 探檢測(cè)器可對(duì)樣品進(jìn)行完整全面表征

綜合工作流程：兼容MAPS 軟件、自定義腳本和 CleanConnect?， 兼 容性讓用戶可您能夠全面完全控制分析流程

     Apreo ChemiSEM 系統(tǒng)集成了三項(xiàng)有助于簡(jiǎn)化操作并確保結(jié)果可靠性的先進(jìn)功能：Thermo Scientic ? ChemiSEM ? 技術(shù)、新型TruePix 背散射電子衍射儀 (EBSD) 以及獨(dú)特的 Thermo Scientic ?Trinity ? 鏡筒內(nèi)探測(cè)系統(tǒng)。

     ChemiSEM 技術(shù)利用全自動(dòng)實(shí)時(shí)定量算法呈現(xiàn)僅通過(guò)成像無(wú)法注 意到的特征，為樣品提供更完整的信息。該功能隨時(shí)運(yùn)行且易于 使用，可更快提供結(jié)果，有助于消除用戶偏差。

     TruePix EBSD 探測(cè)器與 Apreo ChemiSEM 系統(tǒng)配合使用，可擴(kuò)大 應(yīng)用范圍。全新的 EBSD 軟件可用于控制該探測(cè)器，引導(dǎo)用戶完 成參數(shù)設(shè)置、數(shù)據(jù)采集以及數(shù)據(jù)處理。

     Trinity 鏡筒內(nèi)探測(cè)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的形貌、極表面和成分信息 的同步采集，而無(wú)需使用 ETD 或 BSD 探測(cè)器。

     其具有獨(dú)特的信號(hào)過(guò)濾選項(xiàng)，1 kV 電壓下不加電子束減速即可得到 0.9 nm 的ZUI高分辨率。

     Apreo ChemiSEM 系統(tǒng)將高分辨率成像、元素分析和結(jié)構(gòu)分析相 結(jié)合，為用戶提供分析各類型材料的強(qiáng)大工具。

電子光學(xué)

?     高分辨率場(chǎng)發(fā)射 SEM 鏡筒具有以下特點(diǎn)：

–   高穩(wěn)定肖特基場(chǎng)發(fā)射槍，提供穩(wěn)定的高分辨分析束流

–   復(fù)合末級(jí)透鏡，組合靜電透鏡、無(wú)漏磁透鏡和浸沒(méi)式磁透鏡（選配）

–   60° 物鏡幾何結(jié)構(gòu)，允許較大樣品傾斜

–  自加熱光闌確保清潔度，無(wú)接觸式光闌切換

? SmartAlign 技術(shù)：無(wú)需用戶對(duì)中

? 低真空模式（選配）下通過(guò)透鏡差分抽真空減小裙散效應(yīng)， 實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確分析和ZUI高分辨率成像

?  電子束減速功能，樣品臺(tái)偏壓范圍為 -4,000 V 至 +600 V

? 束流連續(xù)變化，孔徑角ZUI優(yōu)化

? 雙樣品臺(tái)掃描偏轉(zhuǎn)

? 電子槍安裝和維護(hù)簡(jiǎn)單：自動(dòng)烘烤、自動(dòng)啟動(dòng)、無(wú)需機(jī)械對(duì)準(zhǔn)

? PivotBeam 模式，用于選區(qū)電子通道襯度成像，也稱為“搖 擺電子束”模式（僅限于 Apreo ChemiSEM S 型）

?  ZUI短燈絲壽命：36 個(gè)月

ChemiSEM 技術(shù)

? TrueSight；探測(cè)器尺寸：25 或 70 mm2

? 能量分辨率高達(dá) 125 eV @ Mn Κα?

? 元素探測(cè)范圍為 Be-Am

? 輕元素靈敏度可探測(cè)至硅 (Si Lα)

SEM-EDS 功能完全集成于單一用戶界面中

? 基于項(xiàng)目的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 項(xiàng)目數(shù)據(jù)樹(shù)，方便輕松管理數(shù)據(jù)

? 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式

? 專用分析模式，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)、線和面掃描模式之間的無(wú)縫融合

? 在 xT SEM 用戶界面中選擇可用的電子圖像類型

? 一鍵生成報(bào)告

? 和峰和逃逸峰去除

? 自動(dòng)譜峰識(shí)別

? 合成峰與背底疊加

? 在大范圍工作距離、束流和電子束能量范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確定量

? 用戶可定義選擇包含、排除或定量缺失某元素

? 自動(dòng)或用戶自定義選擇 KLM 線系進(jìn)行定量分析

? 通過(guò)數(shù)字濾波法去除背底

? 通過(guò)ZUI小二乘濾波法擬合進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣定量分析

? 使用 PROZA 基體校正法，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的輕元素定量

? 定性和定量線掃描，可按時(shí)長(zhǎng)或計(jì)數(shù)停止測(cè)試

? ChemiSEM 技術(shù)，結(jié)合電子圖像算法實(shí)現(xiàn)快速面定量

? 定量面掃描始終開(kāi)啟，提供譜峰剝離的定量面掃描

? 計(jì)數(shù)面掃描，支持單元素線系選擇

? 過(guò) square kernelization 進(jìn)行定量面掃描（選配）

? 將多個(gè)面掃描圖像疊加到電子圖像上

? 用戶自定義或自動(dòng)選擇元素顏色

? 通過(guò)導(dǎo)航蒙太奇采集和拼接多個(gè)視場(chǎng)

? 兼容 MAPS 軟件，實(shí)現(xiàn)多視場(chǎng)的自動(dòng)拼接

? 使用點(diǎn)和矩形框進(jìn)行譜圖提取

? 通過(guò)靈活選擇線方向、寬度和點(diǎn)數(shù)，從 X 射線面掃描圖像中提 取線掃描數(shù)據(jù)

? 多譜圖歸一化對(duì)比

? 基于 DCFI 進(jìn)行面掃描的漂移校正

? 采用化學(xué)計(jì)量法對(duì)硼化物、碳化物、氧化物和氮化物進(jìn)行化合 物分析

? ChemiPhase 通過(guò)多元統(tǒng)計(jì)分析法進(jìn)行實(shí)時(shí)或離線相鑒定

? ChemiView 實(shí)現(xiàn)不同數(shù)據(jù)類型的離線再處理和報(bào)告生成

TruePix  EBSD 探測(cè)器

? 混合像素化直接電子 EBSD 探測(cè)器

? 單一探測(cè)器，由單個(gè)基于 Timepix 的模塊組成

? 零讀取噪聲、高信號(hào)背底比

? 零畸變

? 單顆粒計(jì)數(shù)

? 能量閾值化

? 2000 FPS 幀讀取率

? 一分鐘內(nèi)完成探測(cè)器插入、校準(zhǔn)、花樣優(yōu)化和面掃描自動(dòng)設(shè)置

EBSD 采集和數(shù)據(jù)處理軟件

? 全面集成在線采集和離線數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

? 自動(dòng)花樣優(yōu)化：系統(tǒng)從待采集區(qū)域隨機(jī)點(diǎn)采集 >20 個(gè)EBSP，實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的背底校準(zhǔn)

? ZUI大曝光量測(cè)定：系統(tǒng)確定信號(hào)飽和前的ZUI大曝光量，當(dāng)曝光時(shí)間超過(guò)ZUI大曝光量進(jìn)行自動(dòng)幀積分

? 自動(dòng)平場(chǎng)校正和襯度增強(qiáng)（另外提供校準(zhǔn)程序）

? 針對(duì)不同探測(cè)器位置、工作距離和樣品傾斜角度自動(dòng)進(jìn)行花 樣中心校準(zhǔn)

? 可疊加任意類型的圖像

? 晶粒尺寸直方圖

? 噪聲去除和像素增強(qiáng)

? 用戶自定義模板化報(bào)告

? 標(biāo)定所有的七類晶系和 11 種勞厄群

? 多相同時(shí)標(biāo)定

? 快速傅里葉變換和花樣襯度質(zhì)量指標(biāo)

? 低 SEM 放大倍率花樣中心校正

? EBSP 的ZUI佳擬合運(yùn)動(dòng)學(xué)模擬與疊加

? 歐拉圖、X/Y/Z 反極圖（軋向、法向、橫向）、歐拉取向圖、 相圖和取向差面掃描

真空系統(tǒng)

? 完全無(wú)油的真空系統(tǒng)

? 1 × 240 l/s 渦輪分子泵

? 1 × PVP 渦旋泵

? 2 × IGP

? 樣品倉(cāng)真空度（高真空）<6.3×10-6 mbar（泵工作 12 小時(shí)后）

? 抽真空時(shí)間：≤ 3.5 分鐘

? 低真空模式（腔室壓力為 10-500 Pa）（選配）

? 限壓光闌 (PLA) 自動(dòng)加載裝置

樣品臺(tái)

?  標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品座，可直接安裝在樣品臺(tái)上，可容納多達(dá)18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托（直徑為 12 mm）、三個(gè)預(yù)傾斜樣品托、 截面樣品托和兩個(gè)預(yù)傾斜 STEM 樣載條（選配）（38 ° 和 90°）；安裝樣品無(wú)需使用工具

? 每個(gè)選配 STEM 載條可容納六個(gè) STEM 載網(wǎng)

? 晶圓及定制樣品臺(tái)（選配）

Apreo ChemiSEM 支持多種工業(yè)應(yīng)用，包括對(duì)大和重的材料進(jìn)行表征的應(yīng)用。無(wú)需切割樣品或減小樣品的尺寸，簡(jiǎn)化了制備過(guò)程。

系統(tǒng)控制

? 64 位 GUI，配備 Windows 10 系統(tǒng)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)

? 24 英寸液晶顯示屏，WUXGA 1920 × 1200（可選裝第二臺(tái)顯示器）

? 可自定義用戶界面

? 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散和自動(dòng)透鏡對(duì)中功能

? 智能幀積分（自動(dòng)設(shè)置采集參數(shù)）

? 圖像配準(zhǔn)

? 導(dǎo)航蒙太奇

? 撤消與恢復(fù)功能

? 操縱桿（選配）

? 旋鈕板手動(dòng)用戶界面（選配）

圖像處理器

? 駐留時(shí)間范圍為 25 ns - 25 ms/ 像素

? 高達(dá) 6144 × 4096 像素

? 文件類型：TIFF（8 位、16 位、24 位）、JPEG 或 BMP

? 單幀或 4 視圖圖像顯示

? SmartScan （智能掃描）模式（256 幀平均或積分、線積分 和平均、隔行掃描）

? DCFI（漂移補(bǔ)償幀積分）模式

? 數(shù)字圖像增強(qiáng)和降噪濾波器

安裝要求

（詳細(xì)數(shù)據(jù)請(qǐng)參閱預(yù)安裝指南）

? 電源：

–   電壓為 100 - 240 V AC (-6%、+10%)

–   頻率為 50/60 Hz (±1%)

– 功耗： <3.0 kVA（電鏡基礎(chǔ)系統(tǒng)）

? 接地電阻 <0.1 0

? 環(huán)境：

– 溫度為 20 ° C (±3 ° C)

– 相對(duì)濕度低于 80%

– 雜散 AC 磁場(chǎng)：線時(shí)間 20 ms（50 Hz 電源）或 17 ms（60 Hz 電源）時(shí)，<40 nT（異步）或 <100 nT（同步）

? ZUI小門尺寸：0.9 m 寬 × 1.9 m 高

? 重量：980 kg（系統(tǒng)控制臺(tái)）

? 建議使用干燥氮?dú)膺M(jìn)行抽真空

? 壓縮空氣，4-6 bar，清潔、干燥且無(wú)油

? 系統(tǒng)冷卻裝置

? 噪聲：需現(xiàn)場(chǎng)勘察

? 地面震動(dòng)：需現(xiàn)場(chǎng)勘察

? 可選主動(dòng)減震裝置

產(chǎn)品參數(shù)

電子束分辨率

BD：電子束減速模式，WD：工作距離（除非另有說(shuō)明，否則按ZUI佳工作距離提供分辨率）。默認(rèn)情況下，ZUI終安裝后系統(tǒng)驗(yàn)收測(cè)試條件為：高真空 1 kV 和 30 kV 條件 ，開(kāi) 啟浸沒(méi)模式（如適用）。

電子束參數(shù)范圍

電子束參數(shù)范圍：1 pA 至 50 nA（可選配 400 nA ）

? 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

? 著陸能量范圍：20 eV - 30 keV

? ZUI大水平視場(chǎng)寬度：10 mm WD 時(shí)為 3 mm（ZUI小放大倍率： 29x ）

樣品倉(cāng)

? 內(nèi)寬：340 mm

? 分析工作距離：10 mm

? 端口：12

通過(guò)電子束減速 (BD) 對(duì)氧化鎂顆粒進(jìn)行低 kV 表征 (500 V)。BD 可改進(jìn)形貌細(xì)節(jié)并 減少荷電效應(yīng)。

探測(cè)器

Apreo ChemiSEM 可任意組合不同探測(cè)器或探測(cè)器的分區(qū)（選配）， 可同時(shí)探測(cè)多達(dá)四種信號(hào)：

? Trinity 探測(cè)系統(tǒng)（物鏡內(nèi)和鏡筒內(nèi)）

–   T1 分割式物鏡內(nèi)低位探測(cè)器

–   T2 物鏡內(nèi)中位探測(cè)器

–   T3 鏡筒內(nèi)高位檢測(cè)器（選配）

? TD：Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器

? DBS：可伸縮分區(qū)式極靴下 背散射電子探測(cè)器（選配）

? 低真空二次電子探測(cè)器（選配）

? DBS-GAD：安裝在物鏡上的氣氛分析背散射電子探測(cè)器（選配）

? STEM 3+ 可伸縮分區(qū)式探測(cè)器 (BF、DF、HADF、HAADF）（選配）

? 紅外 CCD

? hermo Scientifc?  Nav-Cam?  導(dǎo)航相機(jī)（樣品倉(cāng)內(nèi)）