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化合物半導(dǎo)體MOCVD外延設(shè)備前驅(qū)體氣體濃度在線監(jiān)測解決方案
四方儀器 2025/09/04 | 閱讀：416
產(chǎn)品配置單： 
型號： Gasboard-2060 產(chǎn)地： 湖北武漢 品牌： 四方儀器
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 聯(lián)系電話方案詳情：
1. 應(yīng)用需求與挑戰(zhàn) 金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）是制備III-V族化合物半導(dǎo)體（如氮化鎵GaN）的核心工藝，其關(guān)鍵在于精確控制前驅(qū)體氣體的濃度、生長速率及工藝可重復(fù)性。 在MOCVD工藝中，前驅(qū)體通過鼓泡器汽化后由載氣輸送至反應(yīng)腔室。然而，前驅(qū)體濃度的穩(wěn)定性受多重因素影響：
為實現(xiàn)工藝優(yōu)化，需對前驅(qū)體濃度進行實時監(jiān)測，并通過反饋調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，形成閉環(huán)控制。 技術(shù)選擇：非色散紅外（NDIR）氣體分析技術(shù)具有響應(yīng)快、精度高、體積小等優(yōu)勢，是MOCVD前驅(qū)體濃度監(jiān)測的理想方案。 國產(chǎn)化迫切性：目前此類設(shè)備依賴歐美日進口，但根據(jù)2025年《政府工作報告》要求，突破關(guān)鍵核心技術(shù)、實現(xiàn)國產(chǎn)替代已成為國家戰(zhàn)略需求，對保障產(chǎn)業(yè)鏈安全至關(guān)重要。
圖1 MOCVD工藝原理圖 2. 解決方案 四方儀器作為國際領(lǐng)先的紅外氣體傳感器制造商，推出專為MOCVD設(shè)計的Gasboard-2062紅外氣體傳感器，提供高精度、實時的前驅(qū)體濃度監(jiān)測。
圖2 Gasboard-2062紅外氣體傳感器 2.1 測量原理 Gasboard-2062采用雙光束紅外吸收檢測技術(shù)：紅外光源發(fā)射特定波長光，通過被測氣體；氣體分子選擇性吸收光信號，強度衰減與濃度成正比；通過對比樣品信號與參比信號（雙光束設(shè)計），計算氣體濃度，確保長期穩(wěn)定性。 2.2 核心優(yōu)勢
圖3 Gasboard-2062紅外氣體傳感器光學(xué)結(jié)構(gòu) 2.3 產(chǎn)品性能 實驗室測試顯示，傳感器的線性準確度（圖4）、響應(yīng)時間（圖4）、重復(fù)性和檢出限等均滿足MOCVD前驅(qū)體氣體濃度在線監(jiān)測需求。 表1 Gasboard-2062紅外氣體傳感器的技術(shù)參數(shù)
圖4 Gasboard-2062紅外氣體傳感器的線性檢查與響應(yīng)時間檢查 2.4 安裝方案
圖5 Gasboard-2062紅外氣體傳感器的安裝示意圖 相關(guān)產(chǎn)品 更多
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