金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
氧氣溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
200～1300℃/1350℃非金屬電熱元件：
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產品性能：
4~8寸晶圓工藝，每臺1~4/5管
恒溫區：800/1000/1250mm
溫度：200～1300℃/1350℃
全自動機械手裝卸，懸臂/軟著陸
晶圓自動倒片，完整的工廠MES系統對接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
配套工藝：
擴散：氣態/液態/固態源磷硼擴散
氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）
氮、氫退火，燒結、合金等
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