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產品性能：
*垂直結構，5～50片/批
*穩定優良的成膜均勻性，重復性好
*微環境低氧控制先進技術
*硅片顆粒度控制穩定，國際標準
*多工藝選擇，模塊化，操作便利
*全自動流程，盒對盒，AGV對接
*高集成度，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
配套工藝：
*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL），氮、氫退火，合金、固化，快速熱退火
*多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2，磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG
*TEOS，LTO，HTO，SIPOS...
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