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高真空管式爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 工位數(shù) | 1-2管(可依據(jù)實際生產(chǎn)工藝設(shè)計) |
2 | 額定溫度 | 900℃ |
3 | 工藝溫度 | 500℃-800℃ |
4 | 加熱溫區(qū)段 | 3-5段獨立控溫,(可依據(jù)實際生產(chǎn)工藝設(shè)計) |
5 | 系統(tǒng)極限真空度 | ≤5*10-4Pa |
暫無數(shù)據(jù)!
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