半導體行業應用專題 | ALP_AN_191_CN_SPOS單顆粒技術在優化藍寶石晶圓CMP工藝中硅溶膠磨料粒度分析的應用----奧法美嘉微納米應用工程中心-忻萍萍摘要:在藍寶石晶圓的化學機械拋光(CMP)工藝里,硅溶膠磨料[更多]
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