光掩膜基板:半導體制造的“精密畫布在半導體芯的微觀世界,光掩膜基板扮演著“電路藍圖”的關鍵。這種由純度英玻璃制成的精密載體,通過光刻藝將納級電路圖案轉移到硅晶圓上,直接決定芯制程精度與良 率。作為光刻技術的核版,光掩膜基板的[更多]
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