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XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位
從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應用場景。此系列產品利用
XRD分析技術在晶圓生產的全部流程中,提供簡單、快速、高精度的晶體定
向測量,大大提高產品良率。

Omega/Theta(XRD)
用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD
10秒內完成定向
定向精度:0.003°
定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉移夾具可選
光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
適應不同樣品的精密樣品轉盤、mapping臺和工裝夾具
搖擺曲線測量

DDCOM(XRD)
緊湊型超快晶體自動定向儀
10秒內完成定向
定向精度:0.01°
兩個閃爍探測器
專為方位角設置和晶向標記而設計
可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無需水冷

SDCOM(XRD)
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測量,10秒內返回結果
定向精度:0.01°
定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現高效切割
光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
樣品直徑1-200mm
無需水冷

XRD-OEM
在線晶體定向測定
標準工業接口,可集成到任何自動化或加工系統中
線切/研磨前對大型晶錠進行全自動在線定向
可內置于磨床和切割機等惡劣環境中使用
平邊/V槽的光學測量功能,如位置、形狀、長度、深度等
Wafer XRD 200 / 300

Wafer XRD 200
無縫融入生產線的全自動高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度:0.003°
產能:100萬片/年
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據,如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等
全自動處理和揀選晶圓片

Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度:0.003°
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據,如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等
附加功能

晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動化晶圓揀選 小樣品夾具
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隨著動力電池和新能源汽車的需求爆發,鋰電正極材料也正在快速迭代,其中三元材料逐漸成為動力電池的主流選擇。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法,化學分析過程相對復雜、分析時間長、梯度稀釋誤
2021-08-06
XRF在鋰電正極材料元素分析中的應用
水泥和似水泥物(混合材)體系水化過程的X射線衍射分析
馬爾文帕納科綜合樣本手冊
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2025年11月12日,“2025年度中國第三代半導體技術十大進展”的入選結果在第十一屆國際第三代半導體&第二十二屆中國國際半導體照明論壇(IFWS&SSLCHINA2025)的開幕式
時間:11月11日(周二)9:00-17:00 pm簽到:8:30-9:00地點:內蒙古大學(南校區)生態環境學院樓102學術報告廳地址:內蒙古呼和浩特市玉泉區錫林南路形式:線下研討會(Seminar
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馬爾文帕納科XRD系列晶向定位的使用方法?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位多少錢一臺?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位使用的注意事項
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位的說明書有嗎?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位的操作規程有嗎?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位的報價含票含運費嗎?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位有現貨嗎?
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位包安裝嗎?
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