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SAB8300C2C 是一款半自動倒裝鍵合設備，適用于研發(fā)、樣品驗證和小批量生產。可在惰性氣體或氫自由基環(huán)境下實現(xiàn)micro-bump和pad之間的高精度對準、高可靠互聯(lián)。

• 項目

  指標

• 樣品尺寸

  上：0.3*0.3~50*50mm（可選100*100mm）
  下：2*2~50*50mm（可選100*100mm）

• 壓力范圍

  2~2000N/3000N

• 控壓穩(wěn)定性

  ±2N

• 鍵合后精度

  ≤±1μm；≤±500nm；≤±300nm

• 壓頭控溫范圍

  RT~450℃

• 壓頭控溫穩(wěn)定性

  ±0.5℃

• 壓頭升溫速率(RT-450℃)

  6s@50*50mm; 2s@32*32mm

• 冷卻方式

  氣體冷卻

• 鍵合腔體氣氛

  惰性氣氛、氫自由基環(huán)境