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拋光頭可實現3 zone壓力控制
全系列機型可加工2-8寸及異形晶圓
納米級別移除精度
拋光粗糙度、速率、一致性行業**
具備精準的光學EPD終點檢測功能
拋光頭壓力可調制高達12psi
可編輯和儲存至少100條以上工藝菜單
可實現盤溫監控、自動冷卻、自動沖洗
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