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Esther E320R品牌
北方華創(chuàng)產(chǎn)地
中國樣本
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Esther E320R主要用于體硅外延、埋層外延、選擇性外延等多種特色工藝的運(yùn)行。該設(shè)備主要由傳輸系統(tǒng)模塊、工藝腔室模塊、壓力控制模塊等組成。精準(zhǔn)的壓力、氣流場與溫場控制，保證了外延片良好的工藝性能，保證成膜質(zhì)量。傳輸模塊可兼容多種晶圓尺寸，同時(shí)滿足多種類的工藝需求。
設(shè)備特點(diǎn)
?專業(yè)的氣流場和溫度場設(shè)計(jì)，獲得良好的工藝性能
?高精度的壓力控制系統(tǒng)，保證成膜質(zhì)量
?穩(wěn)定的傳輸和電機(jī)升降系統(tǒng)，保證工藝結(jié)果一致性
?友好的人機(jī)交互和全面的安全性設(shè)計(jì)，保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效
?具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求
產(chǎn)品應(yīng)用
?晶圓尺寸：6/8英寸兼容
?適用材料：硅
?適用工藝：體硅外延、埋層外延、選擇性外延
?適用領(lǐng)域：集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域
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