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30-40萬(wàn)元型號(hào)
Research-cm-dm品牌
超邁光電產(chǎn)地
四川樣本
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多靶復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī)，可滿(mǎn)足合金膜、單層膜、多層膜、導(dǎo)電膜、非導(dǎo)電膜和反應(yīng)濺射的需要，具有極高的實(shí)用性和通用性（三靶、垂直與共濺射合一、在線清洗基片等），能夠提供高水平功能薄膜研制，特別適合于半導(dǎo)體、新能源、磁性材料、儲(chǔ)氫材料、二維材料、超硬薄膜、固體潤(rùn)滑薄膜、自潔凈薄膜、等領(lǐng)域前沿研究，同時(shí)可選配等離子刻蝕功能和輔助鍍膜。
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