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石墨舟是一種設計為舟形,可平鋪放置多個工件,確保受熱均勻的石墨模具,主要用于承載、固定或運輸工件,常見于高溫工藝(如光伏電池片的燒結、半導體工藝)。太陽能硅片的生產加工中有一道工序叫做PECVD鍍膜,其作用是提高硅片的太陽能轉化率,這個工序就會用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中。經過一定的條件產生化學反應,在硅片表面鍍一層膜。
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