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鎢 | 鉬 | 鎢鉬合金 |
鎢是一種難溶金屬,鎢的熔點是所有金屬元素中**的,熔點為3422℃,密度與黃金接近具有良好的化學穩(wěn)定性和耐高溫性能,此外鎢還具有高密度、高硬度、抗腐蝕等特點。 | 鉬熔點為2620℃屬于難溶金屬,對人體無毒,耐腐蝕,易加工,并具有高熔點、高硬度、和良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性。 | 鎢鉬合金(如Mo-30W、Mo-50W)通過在鉬中添加鎢形成連續(xù)固溶體,顯著提升再結(jié)晶溫度、高溫強度及耐腐蝕性,同時密度增幅有限。該合金采用粉末冶金制備坯料并經(jīng)變形加工,兼具鉬的加工性與鎢的高溫性能。 |
高溫性能 | 耐腐蝕性 | 密度適中 | 熱膨脹系數(shù) |
高熔點,合金化后仍保持優(yōu)異的高溫穩(wěn)定性。相比純鉬,鎢鉬合金的再結(jié)晶溫度顯著提高,高溫下抗蠕變和抗軟化能力更強。 | 對熔融金屬如鋅、銅、鋁和某些腐蝕性介質(zhì),在酸性環(huán)境的耐蝕性優(yōu)于純鉬或純鎢。 | 密度低于純鎢減輕結(jié)構(gòu)重量。比純鎢更易加工,可通過鍛造、軋制等塑性變形工藝制備,降低制造成本。 | 可通過調(diào)整鎢鉬比例優(yōu)化熱膨脹系數(shù),匹配不同應(yīng)用需求如電子封裝、高溫爐部件。 |
支撐材料 | 互連材料 | 擴散阻擋 | 熱沉材料 |
可作為加熱器、托盤或夾具材料,用于碳化硅器件制造涉及高溫步驟如外延生長、退火等,溫度可達1500°C以上,傳統(tǒng)金屬如鋁、銅無法承受。 | 高電導(dǎo)率和抗電遷移特性適合高功率器件的大電流互連。可通過濺射或蒸發(fā)形成薄膜,經(jīng)高溫退火后與碳化硅形成低阻歐姆接觸。 | 鎢鉬合金薄膜可作為擴散阻擋層,抑制金屬原子遷移,提升器件可靠性。 | 碳化硅器件的高功率密度要求高效散熱。鎢鉬合金的高熱導(dǎo)率可用于局部熱沉或襯底背面金屬化,降低熱阻。 |
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